采用信号处理的方法对激光干涉测角系统的特性进行线性化处理,需要产生两路正交信号.采用空间互相垂直的两套干涉系统获得信号难免会使系统复杂、调整困难,因此提出了一种插值处理方法,可以利用测量得到的一路信号获得线性输出信号.输出信号的非线性误差较处理前大大减小了,但是无法满足高精度测量的要求.还提出了针对误差产生的原因进行的误差补偿技术.实验结果表明,提出的方法可以实现任意转角的高精度测量,光程差的测量误差小于±0.2μm,对应的转角测量误差为0.63″.

表面三维形貌的评定是表面计量学中的一个重要课题。本文在一般表面的数学模型的基础上提出了一组表面三维形貌参数,并利用相应的测量与处理系统实测了多种典型加工表面。文中列举了实测结果并将轮廓参数与三维形貌参数进行了比较。

介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统，该系统采用了光学离焦原理中的象散法，从激光束光学中简洁的ＡＢＣＤ定律出发，分析并获得了系统的特性曲线，这比采用几何光学方法得到的结果更实际情况。

Talysurf-6型是由标准件设计而成的测量表面质量的仪器系统。微机已编好程序,可供用户选择相应的粗糙度、波度及未滤波参数,还可进行统计分析。随着生产和科研的发展,表面粗糙度的测量与分析愈来愈引起人们的重视,评定参数逐步增加,对测量的范围及精度也提出了更高的要求。