系统用自聚焦透镜代替共焦扫描显微镜中的聚焦透镜,将自聚焦透镜体积小的特点与共焦显微技术的轴向高分辨力和绝对位置跟踪特性有机结合,具有测头微小型化,高的轴向分辨力、较大倾斜表面的瞄准能力、对突跳位置的绝对跟踪能力等特点.选用PZT作为轴向扫描驱动元件(线性范围±5 μm,每个脉冲2 nm进给),用高精度电容位移传感器作为位置跟踪元件(线性范围±5 μm,分辨力1 nm).对20°角度块进行测试实验表明,在测头直径为1 mm的情况下,系统对20°倾斜度以内的斜面轮廓的探测轴向分辨力可达10 nm.

三坐标测量机在先进制造技术与科学研究中有广泛应用。从提高精度、效率 ,探测技术、软件 ,结构材料、控制系统 ,进入制造系统 ,发展非正交坐标测量系统 ,环境问题 ,误差检定与补偿等方面对三坐标测量机的发展趋势作了分析。

介绍了一种基于透射表原理的可见激光测量气象能见度和灯光能见度的仪器.简要介绍了其探测原理和反演技术实现、系统结构和终端软件的设计方法.由于采用了太阳能供电和能见度/背景分时轮换探测技术,使得仪器功耗小、安装与调校方便、性能价格比高,具有很高的实际应用价值.

坐标测量技术是现代制造和测量水平的重要标志.回顾了坐标测量技术发展的十大标志性事件,从测量范围及精度、探测技术、控制系统、测量软件、精度评定与溯源技术等角度概述了坐标测量技术的现状.预测应用于生产现场的开放性、兼容性和柔性俱佳的坐标测量控制技术,多传感器信息融合技术,智能坐标测量技术以及远程校准技术等将成为坐标测量技术的发展趋势.