本文介绍了已经用于激光球面干涉仪中的用锯齿形衍射定向光栅作检测元件的高精度数字位移测量系统,系统用电子运算器修正光栅常数的办法获得了0.1μm的分辨率和在20mm量限内优于0.2μm的精度,这一系统的主要优点是精度高,结构简单,调正方便,缺点是对机械导轨精度要求较高,因此适用于精度高,但量程不太大(例如≤100mm)的位移测量系统.

用分光计测量三棱镜顶角时,入射光是否垂直于三棱镜底边,对测量结果均无影响,因此实验中不必强调入射光的垂直度问题.然而在用分光计测量光栅常数时,入射光必须垂直入射到光栅平面上,否则将会对测量结果产生误差.本文将对以上问题进行理论分析及指导实验的操作.