为完成快速、精确的外观轮廓度量，设计了一种新型纳米级精度分光路双频干涉度量系统。系统由低频差双频激光干涉度量模块和微探头及二维工作台两部分组成。微探针以轻敲式接近样品至几十纳米时，受原子力作用发生偏转，利用双频干涉模块度量其纵向偏转量，并对样品进行梳状式度量得到外观形貌。根据双频激光的实际光源，对原有双频干涉度量理论进行了改进提高。进行了系统组建和实验验证。结果表明：系统具有纳米级精度，可用于超精样品外观轮廓度量。

对双频激光干涉测角中反射镜组内两角锥镜的不对称性进行了分析,包括两反射角锥镜的制造工艺误差——两反射角锥镜的厚度偏差,以及安装偏差——两反射角锥镜前表面不平行度。推导出了由于该类误差带来的测角影响,建立了精确的角度测量模型。

介绍了一种具有较简单结构、方便实用的经济型双频激光干涉多坐标实时精密测量系统的基本原理及构成．

在双频激光干涉中拍频信号的高精度测量是双频激光干涉测量中的重要技术,广泛应用于精密机械、微电子加工等制造业的高速超精密测量场合。通过使用差分电路设计,提高了电路的抗干扰能力,有效地抑制了温度飘移,显著提高了信号的检测精度。