介绍了一种结构简单 ,但性能稳定、精度高的电感传感器。并介绍了操作方便、置信度高、可用于短工件测量的直线度空间域的组合测量方法。利用它们进行超精密直线度测量 ,具有良好的效果。

制作了一个基于电感传感器原理的微小位移测量装置,将测量结果与光杠杆的测量结果相比较,发现用电感传感器测量微小位移时,灵敏度、线性度和测量范围相互制约。但在一定范围内,它的测量精度比光杠杆的更高。

对一种新型的电感式传感器装置进行了研究,着重介绍了该传感器的工作原理及基本结构、孔径识别系统的框图设计、实验验证分析和工业应用。利用电感式传感器的输出模拟量电流值与金属被测物体之间的距离关系,构建新颖的检测系统,实现对机械设备上安装不同直径螺孔的识别。通过实验室试验装置验证,结果与理论测量值相一致。该检测系统新颖、实用、可靠,价格低廉,稳定系数高,具有较高的精度和测量范围,应用价值良好。

论文阐述了电感传感器的工作原理，分析了电感传感器激励电源幅值、频率稳定性以及大小对测量系统的影响，在此基础上提出了利用自动稳幅控制技术、稳频技术、波形改善技术以及选择合适的激励幅值和频率等技术实现了激励电源系统精度的提高，最后将该电源应用于精密电感测微仪中。实验结果表明，该电源性能良好，能应用于精密测量仪器中。