三坐标测量机在进行高速扫描测量时，由于机体的振动会产生较大的动态测量误差。对MC850三坐标测量机在高速测量中的动态特性进行分析，找出其动态误差产生的根源，并根据GM（1，1）灰度预测理论，将三坐标测量机看作线性动力系统，建立其灰度预测模型，运用该模型对坐标测量机进行动态误差预测。实验结果表明该模型可有效减少测量机的动态测量误差，表明灰色建模理论可用于动态误差预测。

平面度误差是零件的一个重要的形位误差,对保证零件的正常工作有重要意义。对小平面工件的平面度测量,传统的测量方法既不能满足其测量精度要求,又不能实现在线快速测量。因此本文提出用现有的便携式坐标测量机测出小平面的坐标数值,结合最小二乘法算法,实现其平面度的在线测量,并最终实现合格品快速分选。实践结果表明可有效提高测量效率。