在车间条件下操作时,光栅干涉仪在测量精度方面优于He-Ne激光干涉仪。基于光栅干涉测量系统有一些特别的优点,导致其在高精密测量中用途不断增加。阐述了衍射式光栅干涉测量系统的工作原理和特点,同时详细总结了国际上生产和研究衍射光栅干涉测量系统的厂家和研究机构及他们的产品。并指出该系统的发展趋势和存在的问题,为衍射式光栅测量系统的研究和发展提供参考。

设计了一种六自由度关节式柔性坐标测量机，并对该测量机测量方程中的参数进行了辨识，提出了一种快速简易的单点锥窝标定方法。该方法基于单点锥窝提供的空间单点基准，利用非线性最小二乘中的高斯-牛顿法，求解测量机测量方程的参数值。实验结果表明，该方法能够有效提高测量机的整体精度，且操作简单、计算效率高。

文章阐述了六自由度柔性关节式坐标测量机的机械结构和测量原理,推导出了其测量方程;重点进行了整体方案设计,使得坐标测量机的测量空间尽可能大,减少测量死角,同时对杆长进行优化设计;最后,比较了国际上生产坐标测量机的3家公司产品的特点。