利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪,用补偿法的关键是补偿器的设计.本文介绍了补偿法检测非球面的原理,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯,设计了一种由4片薄球面透镜组成的补偿器,该补偿器由前后两部分组成,前面两片组成一个数值孔径很小的系统,主要用于产生适量的球差,后组两片组成一个数值孔径较大的系统,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要.文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析.用这种补偿器检测相应的非球面,检测精度可达0.05λ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要.

对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论.以具有不同面形精度的光学元件,在不同的数据处理方法下得到的结果为例,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系.

高质量的透射光学系统对光学材料的光学均匀性要求非常高,材料局部折射率10-6量级的变化就可能破坏整个系统的性能.详细介绍了三种用于测量光学玻璃光学均匀性的干涉法,研制了一台高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪.实验结果表明:40 mm左右厚的光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达1×10-6.

介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法.给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果.