为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差，介绍了其机械结构及工作原理，进行了定位准确度实验和运动方向的直线度（偏摆）实验，实验结果表明，工作台的定位准确度较高，运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正，即可满足高精度测量的需要。

介绍了一种电感式位移传感器的电路系统。该系统以一片AD698芯片为信号调整电路的核心，将位移量输出信号转换为相应的直流电压值，并结合其它一系列电路模块实现了测头位移量测量。通过对测头的标定试验证明该系统精度高、线性测量范围大。

综述了激光测速仪的现有校准方法，提出了采用模拟目标进行激光测速仪校准的新方法，并根据该原理研建了校准装置。经各种校准方法的比较分析和校准试验验证，说明装置校准范围宽、重复性好、通用性好，可以满足激光测速仪的校准需求。