美国波士顿大学的Jan Smith博士着手有关微泵和谐振式硅结构的研究。此后，与微机械有关的结构和器件的研究正在迅速增加。目前，在MESA研究所中，大约有25人从事有关微机械的研究。正在研究中的器件有流体控制器、流量传感器、液体混合器、谐振式加速度或压力传感器，微型机器人用的活动关节、微定位器、小型扩音器、眼压计以及扫描探测显傲镜等。

<正> 1.前言微机械包括微结构、微致动器、微传感器、微控制、组装、系统设计、微加工以及微能量等方面的技术.本文介绍带运动的信息仪器,利用微机械技术迅速发展的旧信息仪器以及新出现的信息仪器.2.带运动的信息仪器用于信息系统的仪器在具有输入输出接

随着同步辐射(SR)光的出现，期待着X射线的微光束技术。波带板(以下简称ZP)是X射线聚光器件之一，目前来说，它能形成最微细的光束。因此．作为软X射线显微镜的透镜而被广泛使用。ZP是以利用衍射现象的聚光器件，是对入射X射线透明和不透明的同心圆环交替重叠几层的平板(见图1(C))。

因塑料透镜轻，且使用非球面塑料透镜可减少镜片数量，故小型、价格低。非球面塑料透镜可用在光信息仪器、映像仪器等上。这类光学仪器在谋求提高性能和可靠性，所使用的透镜需要亚微米级的形状精度。

油田废管可加工为农用车举升油缸的柱塞和缸体,加工时易产生刀具崩刃、磨损问题.切削过程中可采取使用切削液;改进产品结构的工艺性;从切削刀具方面入手等几种改进措施,提高产品质量,延长刀具的使用寿命,降低产品的成本.