现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展，对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足，在缺少更高准确度计量标准的情况下，往往采用比对的方法使计量结果趋于一致。国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一。文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍。

为减少测量误差，对高准确度回转体类零件的形位误差测量必须进行姿态调整，即四自由度α－β（倾角）、ｘ－ｙ（偏心）调整，当各调整功能之间存在“耦合”影响时，使得调整费时甚至调不出预定的定位准确度。

科技不断进步和社会的快速发展在促进火电厂以及各种先进技术发展的同时,也对火电机组运营所使用的设备以及技术提出了更高标准,所以技术人员更加重视小汽轮机组实现液压控制系统全过程冗余及隔离设计的重点内容。另外,本文以国能锦界公司所使用设备为主要分析对象,在进行全面分析和研究后,技术人员更加重视小汽轮机液压控制系统中补汽调节阀所存在的故障问题,针对故障问题提出优化解决方案,并针对小机液压控制进行了逻辑优化,实现全过程冗余,同时提出更多低压控制油路优化建议,为后续设备的优质运行提供参考。基于此,本文通过项目简介、双冗余伺服阀控制原理、火电机组小汽轮机液压控制系统的性能改造、本文主要科技创新、与当前国内外同类研究、同类技术的综合比较等五方面内容对液压系统的全过程冗余及隔离设计进行全面...

针对盾构机等大型设备用双斜式轴向柱塞泵故障诊断中滑靴磨损故障特征信号易被湮没的问题,提出了一种基于能量增强的双斜式轴向柱塞泵滑靴磨损故障诊断方法。首先,考虑到双斜式柱塞泵滑靴磨损会造成轴向、径向两个方向的振动,对发生滑靴磨损故障下的泵的力学特性进行分析,确定了敏感频率范围;其次,考虑到故障信号易被湮没,将轴向和径向的振动信号分别进行小波包分解,进而得到轴向和径向的振动信号的能量谱,并将轴向与径向敏感频率范围内的

在液压气动、航空航天等领域中经常需要对可变几何区域内的流场进行仿真计算即要处理运动边界流场仿真问题.这一问题是目前计算流体力学研究中的难点和热点该文主要介绍了当前研究该问题的两个不同思路:网格法和无网格法并对这两种方法的优缺点进行了比较.