提出了柔性光学制造技术(FOMT)的概念.介绍了计算机控制小工具抛光(CCOS)和计算机控制应力盘(CCSL)抛光的技术特点;讨论了CCOS在抛光过程中的工艺技术优化方案;给出了应力盘变形的数学物理模型及在周边12个驱动器的作用下应力盘全口径和80%口径范围内的变形仿真结果;研究了在全口径φ500 mm盘上的工程实现途径及应力盘与机床CNC的通讯关系以及抛光工艺研究;分析了CCOS、应力盘抛光和经典法抛光技术的综合运用;探讨了柔性光学制造技术发展的必然趋势.

利用有限元法对模拟能动薄主镜的两块变形反射镜拟合象并模式的能力进行计算，并进行了象并拟全实验，计算结果与实验结果相符。

采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数.通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据.

能动磨盘在光学抛光时随磨盘移动位置和旋转角度不同而产生不同的变形以实时与大口径被抛光工件表面实现良好的吻合。模拟了能动磨盘的工作过程，探讨了用于光学抛光的可行性。以加工直径1．5m,f1/2的抛物面光学元件为例，用有限元法对能动磨盘能够产生的变形进行了仿真计算，结果表明能动盘能够以较高精度产生旋转对称或非对称的二次曲面。

采用轻量化结构的空间相机主镜,因为镜体力学分布较传统的实心镜体复杂得多,因而轻型镜面的加工较之实心镜面复杂得多.镜子在加工中的支撑方式和受力状态是影响镜面加工精度的主要因素之一.没有严格准确的数学分析难以保证镜子的加工精度.本文用有限元法首次对正在加工中的空间相机主镜进行力学分析.根据变形规律设计了几种支撑方案,从中选定了主镜的最终支撑结构.镜面面形的加工精度实现PV值l/10,RMS值l/62.满足使用要求.

大型非球面反射主镜的检测, 国内通常采用离线的卧式检测。由于气流、温度变化以及地基振动等环境因素，容易影响检测的可靠性和重复性。国外在大型非球面反射主镜的检测中普遍采用在位或离线的立式检测塔。本文针对Φ1.07 m，F/1.5非球面反射主镜在加工中的检测，在有限的加工环境中设计了一套分体式立式在位检测塔，由一个四维工作台调节平面反射镜来转折光路、一个五维工作台调节补偿器和一个五维工作台调节干涉仪以满足测量中自由度的调节需要。用有限元分析软件ANSYS对立式塔进行了应力和应变的设计分析以检验其刚性、重心位置和变形情况，以及避免与工件转台产生共振的模态分析。该检测塔在Φ1.07 m，F/1.5非球面反射主镜加工过程中得以用于检测测量，获得了稳定的干涉图和良好的重复性，工件接近完工时的检测结果为PV=0.313λ,...