随着电容式加速度传感器的广泛使用，对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法——阶跃响应测试法，详细分析了其测试原理及测试结果，并与传统的静电激励扫频测试法进行了对比。结果表明：两种测试方法中等效电刚度的不同，造成了测试结果的差异。