以激光自焦伺服原理为基础高精度的测微新方法，具有分辨率高，结构轻巧，动态响应快，非接触测量及价格低廉等优点，能够广泛方便地应用在各种位移，振动，变形及产品质量的尺寸检测等领域，测量精度可稳定达到０．１μｍ，自聚焦伺服测量范围可达－１０μ＋１０μｍ。

以激光ＣＤ光学头为基础，提出了物自聚焦伺服微工作原理，并以此原理试制测微仪。利用半导体激光器作光源、ＣＤ光学 作高精度位移检测传感器，并利用高分辨率、高动态响应的压电晶体作微位移驱动源，建立实时闭环反馈的自聚焦伺服系统，由单片机进行控制，实现自动跟踪测量。系统首先在±５００μｍ范围内进行寻焦搜索，实现光学头聚焦于被测表面，随后立即进入闭环聚焦伺服，对微位移进行检测。可获得±０．１μｍ以上的测量精度

以像散法的测微原理为依据，对ＣＤ光学头的检测系统进行改造，构建了一维测微系统。获得０．０７μｍ的测量分辨率，１００ｋＨｚ的频率响应。同时具有体积小，成本低等优点。具有广阔的应用前景。

介绍了自聚焦伺服型激光测微仪的控制系统的硬件电路接口及监控软件的设计与实现技术。通过实验验证了控制系统的软、硬件设计符合测微仪的测量要求。