介绍了中国计量科学研究院在真空紫外-软X射线波段（5～105 nm）探测器标准研究的新进展。介绍了建立在中国科学技术大学国家同步辐射实验室的以稀有气体电离室为标准探测器的探测器校准装置,以及利用该电离室作为基准探测器对作为传递标准探测器的硅光电二极管的量子效率测量的结果,在5～35 nm范围内,相对标准不确定度为18%～20%。与NIST的结果相比,有较好的符合。

中国科技大学国家同步辐射实验室“光谱辐射标准与计量实验站”上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性，在大量实验数据的基础上，结合必要的理论推导，对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析，确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等。总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式，定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响，针对性地提出了应对办法，把测试误差控制在2％以内，从而有效地保证了测试精度。

研究基于同步辐射的紫外-真空紫外光谱辐射测量装置.通过切换前置镜位置来完成同步辐射光源和传递标准光源的测量.讨论了辐射计偏振特性对测量结果的影响.根据Schwinger提出的理论公式,利用同步辐射作为基准辐射源,在115-350 nm的波长范围测量了作为传递标准的氘灯的光谱辐射亮度,测量不确定度为11%-14%.

本文介绍了世界上利用同步辐射建立辐射计量标准的现状,对利用同步辐射建立真空紫外--软X射线波段的光源标准和探测器标准的原理方法进行了论述,并介绍了我们在这方面的工作和取得的阶段性成果.

介绍了一种基于弹性铰链的精密狭缝的设计，加工工艺要求和性能测试结果。根据实际需要，狭缝可以采用水冷结构。

采用全息离子束刻蚀和反应离子刻蚀相结合的新工艺,在熔石英基片上成功地刻蚀出200 l /mm、线空比46、槽深70 nm、刻划面积60×20 mm2的浅槽矩形Laminar光栅.对改进光栅线条粗糙度和线空比的方法进行了系统的研究.这一新工艺相对简单,降低了对干涉系统光学元件和全息曝光显影的严格要求.

国家同步辐射实验室（NSRL）通过建设国家大科学工程项目，在真空紫外和软X-光光学系统方面积累丰富的经验，建立了比较齐全的设计和检测等软件和硬件设施。本文介绍了NSRL已经研制及正在研制的光栅单色器系统，以及在大型光栅光谱仪器技术方面的技术工作，包括光学设计、机械结构设计、超高真空技术、电子学硬件、软件设计和光学系统调试等内容。