DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头，但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现，DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径（NA）值对扫描探头的感测范围有显著影响；去掉DVD光学读取头中的音圈电机，避免其迟滞特性的影响，可获得较高的精度；更换数值孔径值为0．16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明，该扫描探头的线性感测范围超过90μm，20min的稳定性误差为82.5nm。

针对常用机械零件的特点全面分析了影响机械零件热变形的因素，指出机械零件的热变形除受材料热膨胀的影响之外还受到其它５种因素的影响；文章还选取了以两种材料加工的圆筒为实验对象，通过实验证明了机械零件的受热变形与材料的热膨胀有显著的不同。

钨探针是扫描隧道显微镜(STM)常用探针之一.为了将钨探针应用于扫描探针显微镜(SPM),根据钨探针的受力,通过理论分析确定了钨探针的理想轮廓钨探针的直径变化应具有指数曲线.为了获得指数曲线轮廓、尖锐测头等良好特性的钨探针,分别提出并研究了改进的钨探针液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法.通过这两种电化学研磨法获得的探针以及通过传统的交流电化学研磨法获得的钨探针,分别在探针的形状、探针尖端曲率半径、表面质量、研磨速度、可复现性等多个方面进行了观察和比较.通过实验发现,除了研磨速度外,改进的液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法在其他各方面都优于交流电化学研磨法.

压电微音叉具有良好的谐振特性，并易于实现其振动的检测。利用这些特性，与钨探针结合，构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与X-Y压电工作台结合，采用与TM-AFM相同的工作原理，构成了扫描探针显微镜。介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性，给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统。通过实验及其结果，证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点。除此之外，由于采用了有效长度大的钨探针，使大台阶微观表面的测量成为可能。