微加速度计用于测量载体的加速度,并提供相关的速度和位移信息。微加速度计可以和微型陀螺仪组合构成微型惯性测量单元。但是微加速度计还没有完全实现市场化,微加速度计的可靠性问题已经成为制约其广泛应用的关键因素。微加速度计在加工、封装、运输和实际使用中都可能受到冲击的作用。主要研究压阻式微加速度计在冲击环境下的可靠性问题。通过简化加速度计的结构,得出了悬臂梁上的应力分布。设计了微加速度计在冲击环境下的可靠性试验,分析了加速度计在冲击环境下的主要失效模式及失效机理。得出了压阻式加速度计在冲击环境下的主要失效模式是键合引线的脱落和悬臂梁的断裂。

为了避免微加速度计在加工过程中，由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象，必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求，在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形，使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状．以一种梁一质量块结构的加速度计为模型，为了在加工过程中，得到完整的质量块结构，使结构具有更好的对称性，对各种凸角补偿方式进行了研究、利用（100）面硅片各向腐蚀速率的快慢特性和一定的几何知识，计算出各种凸角补偿方式最佳的补偿几何尺寸模型．这样，在设计加速度计制造工艺时，就可以直接利用这些尺寸模型，得到最佳的结构.

微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件．微加速度计的应用越来越广泛，但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素．为了预计压阻式微加速度计的可靠性，分析了一个完整的压阻式微加速度计，它由加速度计微结构、键合引线以及封装管壳等构成；讨论了加速度计的主要失效类型——由芯片材料缺陷以及工艺缺陷导致的内部失效以及由封装失效和内外引线失效导致的外部失效；详细论述了影响压阻式微加速度计可靠性的主要因素，并在此基础上建立了微加速度计的可靠性预计模型．

微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的关键。本文对压阻式悬臂梁加速度计在不同的环境下的失效模式进行了讨论，并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议，可以为其他科研工作者提供参考。