成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成以卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪.改装后的椭偏仪不含λ/4波长片,而配有一型号为WDG5001A的单色仪和一个X-Y函数记录仪,它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ).

本文分析了三维工艺设计与管理中存在的问题，提出了基于PDM的三维工艺设计与管理系统的整体框架，研究了基于PBOM的工艺数据管理方法，论述了PDM环境下的三维机加、装配等工艺设计和工艺输出方法等。随着数字化设计与制造技术的广泛应用，三维CAD/CAM技术日益普及。在产品研发部门，大都实现了三维产品设计，在生产制造现场也大量采用了自动化数控设备。然而，工艺规划设计部门的工艺设计手段仍然还是主要基于二维图纸，上游三维设计数据和设计意图不能得到有效的传递和充分的利用。

核电冷却泵泵体是主回路系统中三大核心部件之一,泵体的制造加工精度对整体设备的运行安全有直接影响。为提高泵体的加工精度,提出用五轴数控加工工艺加工泵体。分析泵体特征,应用尺寸中差建模,并设计专用夹具。基于遗传算法,研究加工工艺及方法,应用五轴联动数控加工中心完成核电冷却泵泵体加工。解决了圆柱倒扣面、90°弯管管道、薄壁件等加工难题。