通过电感耦合等离子体刻蚀技术和磁控溅射制膜技术制备了具有圆柱状织构和类金刚石DLC涂层的硅片样品,使用原子力显微镜和三维表面轮廓仪表征了样品表面的形貌特征,基于原子力显微镜并采用胶状探针考察了织构和涂层样品表面的黏附行为。结果表明织构化样品表面的黏附作用显著依赖于探针和样品表面之间的接触位置,且在织构间距相同时,织构直径越大,黏附力变化的偏差越大;圆柱状织构和DLC涂层均能减小硅片表面的黏附力,但圆柱状织构的减黏效果显著高于DLC涂层;表面织构和低表面能涂层的组合是减小黏附的推荐方式。

测头系统作为精密量仪的关键部件，其精度高低直接影响量仪的测试性能，因此一直受到精密测量领域的关注。目前，广泛使用的三叉式触发测头，在结构上存在各向异性、测杆变形等带来的误差问题，制约了精度的提高。为此，提出一种新型的球内反射式光纤测头，充分利用了接触式测量和非接触式测量的优点，采用特殊的光纤球内反射结构，并运用计算机图像技术进行信息处理。通过原理的探索、实验样机的研制以及试验验证，该球内反射式光纤测头原理完全可行，在一维微位移平台上实验得到测头的测量位移量阈值小于0．1μm，单向重复性精度达到0．0449μm。

以3Ti／Si／2C／0.2Al粉体为原料，采用机械合金化和真空热处理的方法合成了高纯度的Ti3SiC2粉体，并分析了粉体颗粒的外观形貌。结果表明，对3Ti／Si／2C／0.2Al粉体机械合金化4h，可以生成Ti3SiC2和TiC的混合粉体。采用真空碳管炉对机械合金化粉体产物进行热处理，可以显著提高粉体中Ti3SiC2含量。热处理温度对粉体Ti3SiC2含量有很大的影响，过高或过低都不利于提高粉体中Ti3SiC2含量。在1150℃保温2h得到的粉体产物Ti3SiC2含量最高，达到97.1vol％。热处理产物粉体颗粒比较细小，适合做复合材料的原料。