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微器件快速柔性胶粘接封合机研制

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资料大小
2.50 MB
文件类型
PDF
语言
简体中文
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10

简介

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为了减少微流控芯片产品胶粘接封合的缺陷,提高胶粘接封合的效果,提出了一种室温下能够实现快速柔性胶粘接封合方法,设计了适用于该方法的胶粘接封合机。该封合机选用增压缸提供压力,采用柔性材料作为封合机的压头,压头通过浮动接头与增压缸相连,导向通过滑动轴承实现,驱动系统采用气动驱动,气动回路可实现双手操作,通过调压阀和计时器调节封合压力、保压时间,并且达到保压时间后上压头自动回位,此封合机设计改善了胶粘接封合采用纯手工封合的现状,显著提升了微流控芯片胶粘接封合工艺的自动化水平。
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