粘附是MEMS器件在加工、操作过程中特有的现象，根据微机械中作用力的尺度效应与表面效应，分析表面张力、范得瓦耳斯力、静电力对粘附的影响机理，同时给出了抗粘附的常用的技术方法。

根据非线性动力学的观点，通过理论分析和试验验证，研究非线性弹簧力和非线性摩擦力对液压缸动态特性的作用。得出三种不同节流调速回路工况下液体弹簧刚度随位移变化规律，发现不同工况各自呈现出软弹簧特性或硬弹簧特性。提出非线性弹簧力作用可以用有阻尼的Duffing方程描述，非线性摩擦力作用可以用VanDerPol方程描述，非线性弹簧力和非线性摩擦力耦合作用可以用Lienard方程描述。指出液压缸低速爬行原因是在特定工况下软弹簧特性引起的“跳跃现象”和非线性摩擦力引起的自激振动共同作用的结果。方程的解在不同工作条件下具有不同的形态，说明液压缸非线性动态特性复杂多变。