本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象，论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜，它具有量争孤抗干扰稳定优质的光电信号，理论分析及实时表明，该扫描力显微镜具有０．０１ｎｍ的纵向分辨率，５ｎｍ左右的横向分辨率。

针对多齿差摆线齿轮泵设计中出现的齿廓重迭干涉现象,文章讨论了出现齿廓重迭干涉的原因,推导出了不产生齿廓重迭干涉的条件.在此基础上,分析了各齿形参数对齿廓重迭干涉的影响,提出了避免齿廓重迭干涉的措施和选择设计参数的方法.