提出了一种锆钛酸铅（PZT）薄膜微致动器的结构模型。该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电（MOEMS）陀螺微镜进行位移和角度的精确定位。建立了该致动器的简化模型并利用有限元方法分析其驱动能力。结果显示,当采用双层结构的PZT薄膜微致动器时,在外加电压50V作用下,环形PZT位移控制器中心位移可达到0.345μm;十字形角度控制器偏转角度可达3.29″,增加PZT薄膜的层数可以进一步增加致动器对微镜位移和角度的控制能力。通过对仿真结果进行分析可以得出结论,选用多层PZT薄膜材料制成的微致动器能够满足调整微镜位移和角度所需的范围和精度要求。

本文介绍了陀螺摄像稳定平台的不同分类方法,阐述了被动式和主动式陀螺稳定平台的系统组成和工作原理,归纳了国外典型设备及其实际应用情况,分析和总结了国内陀螺稳定平台在影视拍摄中的应用现状和研制情况以及与国外的差距,并介绍了两款国内自研稳定平台的应用情况,最后指出了加快自主研发的紧迫性,并展望了应用前景。

针对测量船惯导系统水平及航向精度检测需求,提出了采用卡尔曼滤波技术解算惯导水平偏差的新方法.对经纬仪校准惯导的基本原理及陀螺的随机飘移分析,利用经纬仪测星方法,在惯导飘移误差小于7′,标定误差可在2″以内,可有效地消除惯导的随机游动误差分量,将使测量船的整体测量精度得到显著的提高.

综述了微机电系统的特征及其应用前景.介绍了微机电系统陀螺的结构、原理及其在武器系统中的应用和研究开发动向.

MEMS石英音叉陀螺是近年来发展起来的新型惯性器件.在石英音叉的早期设计阶段,为了提供可靠的设计方案,并缩短设计周期,应该对其进行分析模拟.音叉的结构参数至关重要,不仅会影响陀螺的敏感性,还会影响其检测精度和稳定性.本文以U形音叉为例,利用大型有限元分析软件ANSYS建立了微型石英音叉的实体模型,对其模态特性进行了分析和计算,分析了音又几何尺寸对其谐振频率的影响,并提供了一组可供实际制作的音叉结构参数,大大缩短了设计周期.

微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件，这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况、技术趋势及市场预测．

<正> 1 前言陀螺、加速度表用微型泵是导弹、火箭的关键器件,不仅在研制过程中需要进行严格的测试,而且在生产调试、交收试验中,甚至在导弹发射前还需模拟它在空间的各种状态进行严格的测试。以往由于没有一套完善的测试设备,只能用手工的方法进行,不仅效率很低,而且受许多主观因素的干扰,所得结果的可信度受到影响。最近我们研制成功了一种微型泵的计算机辅助测试系统,使