论述了尺寸效应的内涵及其对微电子机械系统(MEMS)基础理论研究的重要影响;提出了广义尺寸效应、狭义尺寸效应,正效应、负效应及其判据;建立了狭义尺寸效应的分析模型,从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面进行泛函分析.将该模型应用到两端固支多晶硅微梁的弯曲测试,分析结果与实验相符.

在涡旋式滤油机真空泵涡旋型线设计中,利用基于泛函的通用涡旋型线设计理论,对涡旋式滤油机真空泵运转机理进行了分析,利用工程分析软件PRO/ENGINEER建立了通用涡旋型线涡旋式真空泵零部件三维实体模型并进行了整机装配,运用PRO/ENGINEER动态仿真模块进行了涡旋式滤油机真空泵整机运动仿真,利用其放大功能,在放大几万倍的条件下,啮合点仍然保持正确接触,且在动态模拟仿真过程中运转正常,证明了通用涡旋型线理论和求解建立模型过程的正确性,为通用涡旋型线涡旋式真空泵的结构设计提供了依据,拓宽了单一涡旋型线设计理论与方法研究的思路。