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> 最大量程设计
电容式微机械加速度计测量范围上限设计
作者:
陈宇晓
刘昌孝
来源:
传感器技术
日期: 2022-07-16
人气:4
测量范围上限设计一直是高gn值微惯性引信研制的一个难题,对差动电容式微加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明按同一比例尽量减小封装间隙和电极面积,使得受限于临界偏压的外加偏压取值刚好能提供需要的量程,同时使用质量块减薄和打孔并用的方法来提高最大量程,所设计出的加速度计可具有70 gn以上量程.
关键词:
微机械加速度计
测量范围上限
差动电容结构
参数
微电子机械系统
最大量程设计
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