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> 高g电容
一种高g电容加速度计的设计
作者:
钟福如
来源:
电子设计应用
日期: 2022-07-15
人气:1
本文分析了电容式加速度传感器的工作原理,在此基础上设计了一种大量程加速度计,通过MATLAB进行系统仿真和ANSYS仿真验证,结果显示本设计可以很好的实现要求量程70g,线性度小于2%,并有较好的稳定性.
关键词:
高g电容
加速度计
传感器
ANSYS仿真
系统仿真
的稳定性
负静电刚度
微机电系统
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