提出一种由圆形板和大量扇形梁构成活动部件的新型高负载电容式微加速度计。通过将固定电极分为检测电极与驱动电极,可实现自检自标定功能。该微加速度计以金属为核心部件材料,并采用UV-LIGA微工艺进行加工。虽然活动部件因全柔性而具有复杂变形、器件内存在复杂机电耦合,但该传感器所建立的计算模型具有精确、快速的特点。采用AD7747对该加速度计进行了测试,并实现了结构参数、材料参数的标定及支撑梁发生破坏、尘粒进入腔室等故障的检查。

以高负载、大摩擦阻力的舵轴加载试验系统为研究对象，针对角速度传感器实测误差过大的问题，通过采用高精度角度传感器进行高精度位置控制，并引入速度校正环节，实现系统的速度控制要求。

<正>1混合碳纤维增强复合材料:一种新材料由HAENCHEN开发的混合碳纤维增强复合材料具有高负载性能,它是由碳纤维和其他成分改进而成的一种结构材料。可以将这种材料设计运用到液压缸的部件中,比如缸筒,活塞杆,以及不带金属滑动面的保护套筒。图1即为HAENCHEN开发的混合碳纤维增强复合材料。