实验研究了子孔径光学检测的拼接准确度．实验选取9个子孔径进行拼接，同时利用ZYGO干涉仪来测量子孔径和整个被检面的表面面形,实验发现，测量基准子孔径和整个被检面的时间间隔对子孔径拼接准确度的评价存在严重影响．为此，重点研究了产生影响的原因并提出了消除测量基准子孔径和整个被测面时间间隙影响的方法．最后，利用该方法研究了子孔径重叠面积对拼接准确度的影响．结果显示，当重叠面积比为7％时，PV和RMS的拼接误差分别为0．03λ（λ=632．8nm）和0．01λ，并且重叠面积比和拼接准确度呈近似线性关系．

现代光学系统多采用大口径的光学元件来提高系统的测试精度.数字波面干涉仪是一种高精度光学元件检测设备,但目前传统的技术无法满足检测大口径光学元件的要求.在普通数字波面干涉仪的基础上,采用目标函数多孔径拼接技术,能很好地解决大口径光学元件检测问题,最终得到较完整的波前信息.

在两个子孔径拼接原理的基础上提出了子孔径拼接目标函数，并通过建立每个子孔径的相关矩阵及相关向量，每个重叠区的拟合矩阵及拟合向量，运用矩阵变换实现了子孔径的拼接，从而实现了大口径面形的测量，该方法简单易行，且避免了误差传递和积累。

在较大孔径放大系数（〉4）的情况下，结合实验结果，从拼接模式、被测面形、测量误差和不同孔径放大系数的角度出发，分析了各种因素对目标函数拼接技术精度的影响，为高精度检测和控制大口径光学元件表面面形（波前）提供了依据。