基于光学树脂基片的码盘、光栅盘制作技术研究
码盘、光栅盘是光电位移精密测量仪器和光栅计量测试设备中的核心元件。目前,码盘、光栅的基片主要是K9玻璃、浮法玻璃、不锈钢及菲林胶片,但它们无法适应振动强、冲击大等恶劣环境的要求。为了解决上述矛盾,采用新型的材料--光学树脂作为基片进行码盘、光栅盘的制作,通过分析部分光学树脂特别是聚甲基丙烯酸甲酯(简称PMMA)、聚碳酸酯(简称PC)、聚苯乙烯(简称PS)的光学特性,在研究现有光刻复制工艺的基础上,采用新型的制作技术制作出PC树脂基片的光栅盘,在45倍显微镜下观察,线条陡直、无龟裂,试验结果表明该工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以树脂码盘、光栅盘为核心元件的测量仪器和光栅计量设备提供了试验基础。
曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响
根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对码盘、圆光栅线条的黑白比以及曝光量和其均匀性误差之间的内在关系进行了分析,并给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的码盘、圆光栅的均匀性误差较小。
力标准机码盘的定位检测
分析了EE1-100型力标准机砝码加载机构的工作原理和砝码挂起后间距偏差对定位检测的影响;提出了用光电编码测距方式取代原固定位置检测的方式;设计了测量电路以及一种符合EE1-100型力标准机工作特点的倍频鉴相电路并给出了逻辑分析结果;设计了置数计数定位电路,使系统装调简化,工作可靠.
无锁存功能脉冲计数器的改进读取方法
在电机伺服控制系统中,需要一个脉冲计数器对电机码盘输出的脉冲进行计数.但是如果脉冲计数器没有数据锁存功能,单片机读出的数值可能不准确,进而影响伺服控制系统的性能.针对没有锁存功能的脉冲计数器,提出了一种改进的读取方法,有效的避免了在读取过程中由于计数器进位或借位造成的读数偏差.
-
共1页/4条