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激光干涉仪数字测角的新方法及其应用

作者: 王贵甫 陈桂林 陈雨良 来源:光学精密工程 日期: 2023-10-14 人气:14
激光干涉仪数字测角的新方法及其应用
介绍了一种基于迈克耳孙干涉仪的精密角度测量系统,该系统利用迈克耳孙干涉仪在几何量测量中的干涉测量技术,通过转换将角位移转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移, 并通过相应电路对干涉条纹进行处理,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比, 该系统具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。同时,文章还对系统的构成原理、设计注意事项和精度等作了有关的理论分析。
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