介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr—Au掩蔽薄膜的沉积工艺，从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素，提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中，强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。

两端固定音叉结构常被用作石英或硅振梁加速度计的敏感结构。论文的目的是建立两端固定音叉结构的固有频率与受力之间,及差动音叉结构频率差与受力之间的精确关系,研究差动音叉结构量程与非线性之间的联系。以梁的弯曲振动微分方程为基础,推导了在轴向力作用下两端固定的梁的固有振动角频率与轴向力之间的关系,并用多项式拟合;进一步得到差动音叉结构传感器的角频率差与轴向力之间的拟合多项式。梁的力-频率关系和差动音叉结构的力-频率差关系的5次多项式拟合误差分别低于0.0056%和0.0015%,并给出了敏感结构量程与输出非线性度之间的近似公式。这些公式可以为传感器的设计提供依据。

振梁加速度计是一种新型惯导器件。为了更好地将振梁加速度计应用于新一代惯导系统中,有必要研究其随机误差模型。采用时间序列方法对振梁加速度计的随机误差进行建模,并将结果进行比较。利用BIC准则及残差平方和最小原则得到振梁加速度计的最佳误差模型。研究表明,AR（4）模型是振梁加速度计的最佳误差模型。