##a## 自从激光器问世以来，特别是近几年德频激光器付之实用后，干涉精密测量取得了重大的进展。目前，激光干涉系统已广泛应用于长度、角度、直线度、平行度、平面度、两轴正交性、光洁度等几何量的精密测量，机械加工中工件尺寸的控制和切削参数的测量，精密机床、坐标测量机的校正，集成电路制作中的精密定位，以及振动、速度、加速度、重力、压力、材料线膨胀系数等物理量的精密测定。本文叙述几种新的高精度激光长度测量干涉仪，这些干涉系统当然也可以应用于其它精密测量领域。

为了满足激光拍频干涉仪所需要的高的频率稳定性的激光光源，研究了双纵模热稳频的机理。以控制激光管放电电流为主要热控制方式及自创的对激光管进行感应加热作为微量控制的先进方法为控制手段，采用模糊控制理论与专家系统相结合的控制策略，建立模糊PID控制器，对双纵模激光源进行稳频。无须建立被控对象数学模型，对时滞、非线形和时变性具有一定的适应能力。实验结果显示，稳频精度无明显变化，但预热时间明显缩短，抗干扰性明显增强，强干扰后也能迅速稳频。