凸度仪系统机械参数确定方法研究
在双X射线源、双电离室阵列探测器构成的钢板凸度仪系统中,射线源、探测器阵列以及钢板之间的位置关系(凸度仪的机械参数),是决定系统精度的关键因素之一。本研究基于实际的凸度仪系统,结合X射线源的实际张角能力,利用噪声分析的方法,研究系统的机械参数对测量精度的影响规律。通过对该影响规律的分析,即可根据系统精度需求、所需达到的分辨率,以及X射线源的张角大小,获取优化的凸度仪机械参数。在凸度仪样机的构建过程中,该方法得到了实际应用。
差线栅位移传感器参数设计准则
差线栅位移传感器的机械参数对其性能有决定性的影响,其参数设计过程中需考虑的因素和遵循的规律比较独特。推导了含有分辨率准则、精度准则、幅值准则、波形准则的差线栅位移传感器参数设计准则,为传感器的结构设计和机械参数选择提供了理论依据。
电测法测量梳齿式微机械加速度计的机械参数
为测量梳齿式微机械加速度计敏感元件的机械参数,提出一种静态电测法.在施力电极上加载直流电压,产生与摆片重力相当的静电引力,根据静电力与重力平衡的关系式,求解出敏感元件的实际机械参数.进行了检测电路的放大性能实验、加速度计重力场静态翻滚实验和摆片的静电吸引实验.实验结果表明,该方法能准确地估算敏感元件的实际机械参数及静态性能.与其他方法相比,静态电测法能较为全面地评估加工工艺对系统性能的影响,不需要特殊的测量环境和仪器设备,能在制造现场使用.
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