研究了高精密圆度仪电气部分与测量软件部分，利用线性差动变压器式位移传感器与AD698驱动芯片作为信号前端，精确地将待测工件表面的机械位移量转换成单极性或双极性的直流电压；应用MSP430单片机和18位AD7691数模转换芯片采集电压信号传人上位机，最终用相应的软件进行数据分析；应用结果表明，标准件的圆度值重复精度达到了30nm以下，标准玻璃球的圆度误差达到了0．05p．m左右；该系统运行稳定可靠，精确度高，并且降低了系统的功耗，具有一定的实用性和推广价值。

主要设计研究了基于ARM嵌入式计算机系统的圆度测量仪系统,与PC机或工控机为核心的圆度测量仪相比,本系统具有以下突出优点：智能化程度高,结构简单,功能完善,价格低廉,具有良好的可扩展性和极高的性价比。本系统的核心设计工作主要有：采用AD698实现信号调理,采用LPC2210构建ARM嵌入式计算机平台,采用最小二乘圆法设计圆度误差评定软件,采用FIR低通滤波器实现数字滤波。

介绍了一种电感式位移传感器的电路系统。该系统以一片AD698芯片为信号调整电路的核心，将位移量输出信号转换为相应的直流电压值，并结合其它一系列电路模块实现了测头位移量测量。通过对测头的标定试验证明该系统精度高、线性测量范围大。