介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台，该微动台采用双柔性平行四连杆结构。用ANSYS对其进行有限元分析，使用自制的电容位移传感器进行位移检测，采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制，结果表明：该控制方法既具有开环控制的稳定性，又具有闭环控制高精度的特点。实验证明了该方法的有效性。

建立了具有刚性运动基的折叠式柔性结构振动主动控制实验系统,采用带实时预测误差修正的预测控制算法进行了这类结构振动主动控制的实验研究.实验结果表明,在实验建模的基础上设计预测控制器对折叠式柔性结构进行振动主动控制,能够有效地抑制柔性结构的振动和提高刚性基姿态定向精度.

综述了ＰＺＴ厚膜单元声纳换能器和８×８阵列声纳换能器的制备方法、结构和性能，并介绍了ＰＺＴ厚膜声纳换能器的应用及发展前景。该厚膜是利用改进的ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺制备的，厚度为４￣１２μｍ。４μｍ厚的ＰＺＴ厚膜的纵向压电系数ｄ３３为１４０￣２４０ｐＣ／Ｎ，剩余极化强度Ｐｔ为２８×１０＾－６Ｃ／ｃｍ＾２，矫顽场强Ｅｃ为３０×１０＾３Ｖ／ｃｍ，相对介电系数εｒ为１４００。

研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用。本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,该类型微电源有望成为MEMS提供长期电能。首先分析了利用压电材料收集振动能的原理,对微型悬臂梁结构的设计进行了简单的分析,重点介绍了用MEMS工艺加工微型悬臂梁的工艺流程。悬臂梁结构采用体硅和面硅加工工艺相结合,体硅工艺包括湿法和干法刻蚀硅及表面层结构,金属Pt层刻蚀等,面硅工艺包括溅射金属薄膜和利用Sol-Gel方法在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作锆钛酸铅（Pb（Zr0.52Ti0.48）O3,PZT）压电薄膜等。经过反复工艺实验研究,确定一套稳定的微型压电能源的制作工艺流程。

基于相位测量的外差干涉系统以其信号处理方面的优势在光学计量领域得到了广泛的应用.介绍了采用机械调制方法的差动单频干涉系统的干涉信号小数级次的相位测量实现方法.针对机械调制干涉系统的信号有相位跃变点且周期不均匀的特点,提出了利用外触发信号对干涉信号进行整周期截取而后再鉴相的方法.研制了基于FPGA的外触发式差动数字鉴相系统.实验测试表明,该鉴相系统在信号频率为300 Hz～10 kHz范围内达到的指标为:示值稳定性优于±0.015°,极限偏差小于±0.07°.

本文介绍了一种应用于红外移相干涉仪的移相器的位移分段非线性校正方法.该装置由压电晶体微位移器PZT及其驱动电源和控制器组成,位移的非线性从校正前的9.6%降低到0.4%.