为弥补普通光学显微镜照明系统的不足,针对一般三维微结构的显微成像,提出并设计了一个可实现实时调节的三向光纤照明成像观测系统.系统采用计算机、D/A卡、驱动电路等硬件以及自主研制的控制软件,实现对任一光源的光强进行稳定连续的实时调节.通过自主设计的机械结构将光源、光纤、耦合头以及显微镜连接为一整体,实现光束入射方向、入射角和入射距离的任意调节.与通常的底部透射光照明系统进行实验比较,成像质量显著提高,不仅可以清晰观察目标对像的表面结构,还能得到立体感强的三维图像.针对面阵CCD显微测量系统的标定和标定误差问题,提出了螺旋微缝标定法.将螺旋测微计两铁钻形成的微缝作为标定的样本,配以适当的观测手段和计算方法,有效地消除或减小了各种误差,提高了系统的标定精度.通过系统标定和测量比较,系统的标定精...

在光栅投影测量的相位计算中,采用Gray编码和相移相结合的方法,并针对当前光栅投影测量中相位计算精度不高的问题,提出一种新的相移方法.与传统相移方法相比,该方法采用新的投影光栅光强函数.考虑到光栅投影测量中可能出现的标定误差、投影光非正弦模式以及其他干扰因素,在该函数中加入对这些干扰的纠正值,从而减少由这些干扰产生的不利影响,进一步提高投影光栅和对象测量的精度.通过对邻近点插值获得的投影光栅,条纹精度可以达到亚像素级.对实际测量获得的投影光栅图像的处理实验,证明了该方法的可行性和先进性.

针对两种仪器化压入仪和两种代表性压入测试方法：Oliver—Pharr方法和Ma方法，通过有限元数值模拟分析了仪器柔度标定误差对2种仪器和两种方法测试精度的影响。结果表明仪器柔度的标定精度直接影响压入测试结果的准确度，仪器柔度越小，测试精度越高；就测试方法而言，Ma方法具有比Oliver-Pharr方法更高的精度和更低的仪器柔度敏感性；对同一材料，压入深度越大，由仪器柔度标定误差引入的压入测试结果误差越大；当材料较硬且压入深度较大时仪器柔度的标定尤为重要，小量的标定误差导致测试结果严重偏离真值，甚至为负值。