本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。

MEMS器件微流量流速检测中会受到寄生电容的严重干扰，针对两腔键合的压电驱动硅基微流量传感结构，通过对该结构中Si-Pt平行板电容分析及其对交变方波驱动的输出响应分析，确定了寄生电容产生于两腔键合处的上腔基质硅与检测热敏铂丝之间，提出了通过压电驱动电极的适当连接抑制寄生电容干扰的有效方法。

研究了微加速度计的电容变化率为１０＾－７～１０＾－８旱的微弱输出信号的 是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到１０＾－７～１０＾－８的电容变化率的目的。

为提高Z轴硅微机械陀螺仪信噪比,分析了陀螺仪机电接口中的电容和电阻.文中以Z轴硅微机械陀螺仪的理论模型为对象,建立了陀螺仪机电接口模型,分析了模型中寄生电容和电阻对有用信号和噪声的影响.分析结果表明寄生电容会削弱有用信号,且布线与活动结构间的电容对输出有很大的影响,而寄生电阻会产生噪声.最后,提出了采用新工艺和合理的布线方法以减小寄生电容和电阻,从而提高信噪比.