本文在分析介绍了激光干涉仪测量位移原理的基础上，指出了标准振动台稳态正弦绝对校准法中，激光干涉仪测量的只是工作台面运动的路程而非矢量位移，因此对于测量含有谐波失真的正弦波形将引入测量原理性误差。文中利用波形加速度失真度系数详细推导并给出了谐波失真所引入的测量误差的估计式，对准确评价传感器校准精度具有重要意义，同样也有助于我们对激光干涉仪测量精度的认识。

一、规程修订的背景国际标准化组织机械振动、冲击与状态监测技术委员会第3分委会——振动冲击测量仪器的应用和校准分委会（ISO TC108/SC3）负责制定振动和冲击测量仪器校准的系列国际标准。其中,ISO16063-11《激光干涉法振动绝对校准》和ISO16063-21《振动比较法校准》中给出的振动校准的频率范围都达到了0.4Hz~10k Hz;而且ISO TC108/SC3正在讨论将振动校准的频率范围扩展到0.1Hz~20k Hz。

主要介绍了为中国地震局工程力学研究所振动计量实验室的技术升级项目研制的垂直和水平超低频振动台。水平振动台采用单导轨结构，大大提高了振动位移，达150mm（P—P），同时加宽了使用频率范围，可从0．01～250Hz，而且加工、安装、调试、维护都十分方便。振动台取消了机械弹簧，代之以自动控制电弹簧，比原振动台的超低频性能大为改善，在控制方面，采用相对速度与绝对速度复合反馈技术。振动台的波形失真度，振级稳定性、横向振动比、低频背景噪声等各项技术指标达到或超过国际标准，为低频、超低频振动传感器的检定提供更精更准确的检定装置。