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一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用

作者: 彭光含 杨学恒 刘济春 李旭 辛洪政 来源:仪器仪表学报 日期: 2023-07-10 人气:15
一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用
主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采用简单适用的新型微悬臂。并利用STM检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围。该机型集AFM和STM功能为一体,其中STM可以单独使用。该机型检测精度可达:横向0.1nm,纵向0.01nm。并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究。

一种高精度原子力显微镜的设计及应用

作者: 杨学恒 陈红兵 费德国 谢超 靳平 杨惠 来源:中国机械工程 日期: 2022-09-20 人气:3981
一种高精度原子力显微镜的设计及应用
简述了重庆大学研制的原子力显微镜(AFM)样机的工作原理和应用,重点介绍了其镜体的独特设计.该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围,简单适用的微悬臂使操作大大简化.给出了用该机检测到的具有代表性的4种样品的表面形貌图.
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