锥形光栅衍射特性分析
针对光学绝对式编码器的分辨率和尺寸之间的矛盾,自行设计了一种锥形光栅进行高位细分.以夫琅和费衍射理论为基础,分析了锥形光栅的光学衍射特性,初步推导了利用锥形光栅实现光学细分的基本原理,并通过实验验证了上述的理论分析结果.
用正交线阵CCD实现高精度小圆孔自动测量
提出了一种使用线阵CCD自动测量小圆孔参数的方法.该方法充分利用了线阵CCD分辨率高的特点,适当的光学设计使两个线阵CCD正交,通过测量小圆孔的夫琅和费衍射条纹,实现了小圆孔半径的一维参数高精度自动测量和圆度误差的二维参数定性自动测量.该方法具有一定的实用价值及应用前景.
基于CCD的微缝宽激光测量系统的改进
提出了以激光为光源的微缝宽度测量系统的新方法。从理论和实验上对几种影响激光衍射法测量微缝宽度的因素进行了研究,井以正交CCD组作为接收元件,改进了测量系统。与传统测量方法相比,不再有测量距离的不确定及CCD定位等问题。测量过程实现了非接触、高精度在线测量,系统性能稳定。
用散斑图测试金属表面粗糙度的探讨
本文分析了夫琅和费衍射形成散斑图的过程 ,提出用散斑图测试金属表面粗糙度的设想
软X射线傅里叶变换光谱仪原理及结构特性研究
软X射线傅里叶变换光谱仪是傅里叶变换光谱学最前沿的研究领域。本文采用夫琅和费衍射理论分析了新型Mach-Zehnder分波前式软X射线傅里叶变换光谱仪的工作原理,探讨了探测器接收狭缝宽度的确立条件,得出光程差反演公式,指出谱仪研制的关键环节及难点。
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