本文介绍了一种应用恒温原理的新型热式气体质量流量计的研制过程。流量计由半导体传感器和基于单片机的变送器组成。经过试验，流量计运行良好，能准确实现测量气体温度和质量流量的检测。

本文叙述热式气体质量流量计的发展棍况，工作原理、特.点和设计计算，列举主要性能刚试结果，指出该仪表可广泛用于科研和生产装置上。

传统的天然气流量计主要采用容积计量．容易受天然气压力和温度的影响．而且不能反映天然气的成分变化（质量变化）。另外．现有计量仪表不能很好地计量出较小的流量．对较大的流量又存在饱和等问题．严重影响了计量的准确性。本文介绍一种根据传热原理．基于MEMS技术的传感器系统。利用MEMS技术设计的传感器系统体积小、测量准确度高、误差小，可以精确测量管道内气体的质量流量。

炼油厂火炬气计量仪表的选型一般为涡街流量计、热式气体质量流量计以及超声波流量计等．而以热式气体质量流量计居多。多年来．由于火炬气介质的特殊性．准确度差一直是其计量的突出问题．所呈现的数据基本上都只作为生产管理中的参考数据。

文章介绍了污水处理过程活性污泥法中曝气流量的测量,着重论述热式气体质量流量计的测量原理、特点、及实际应用中遇到的问题和解决办法。

一、热式气体质量流量计工作原理 ST98型气体质量热式流量计是一种用于空气和气体测量应用的热扩散式质量流量计，它由一个流量元件、一个流量变送器和一个封装组成。ST98的流量元件采用的是热扩散技术。热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术，其典型传感元件包括两个电阻式温度探测器（RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当这两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定温差的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流体流动将被加热的RTD上的热量带走，造成两个RTD间的温度差成比例变化，流量计的流量变送器将RTD间的温差转换成一个刻度信号和一个可选择的显示值。

1 ST98热扩散式气体质量流量计工作原理 11 ST98传感器工作原理 ST98是以热扩散技术为基础的气体质量流量计。传感元件包括两个带热套管保护的电阻式温度探测器(铂RTD),这两个RTD被置于流体中,其中一个RTD被加热,另一个则用于感应过程温度,如图1所示。气体的流动将被加热的RTD上的热量带走,造成两个RTD之间的温差与气体流速成比例变化。其关系为: