介绍了一种利用波面干涉仪和精度为0.2″的端齿盘组合测量六面体相邻两面垂直度误差的新方法,建立了基于最小二乘算法的评定垂直度误差分布的数学模型,介绍了测量装置及测量实验步骤。该方法不但测量精度高,而且能够获得两个面之间垂直度误差分布数据,可用于六面体面体形位误差的高精度修形加工。针对精度为2″的标准直角棱镜的测量实验表明该方法测量结果可信,精度优于0.5″。可推广到其他多面体类零件形位误差的高精度测量。

采用等分度测量方法进行凸轮实际轮廓线的测量，通过三次样条函数对测量数据点进行曲线拟合，最终利用平面等距线对拟合的曲线进行测头误差修正。实际证明该数据处理方法切实可行，具有较合理的精度。