论述了三点法圆度及轴系运动误差测量系统中确定三个测头最佳角位置的方法。通过分析测头读数误差对圆度各次谐波测量精度的影响，提出了确定三个测头最佳角位置的优化策略，基于Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ思想和单纯形模式搜索方法编制了高效，高精度的寻优程序。

本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分和马达分级调速等方法，本系统既具有闭环控制的高精度特点，又具有开环控制简单、易操作等优点。实用表明：该系统控制的刻划机的定位精度σ＝３．６ｎｍ，最大定位误差为１４．６ｎｍ。

目的 对一种高精度、高频响的电容测微仪系统进行改进。方法 以８阶Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ滤波器ＭＡＸ２９１为核心元件，设计了该系统的动态测量电路，提出了电容测微仪系统动态特性的测试与标定方法。结果与结论 改进后的电容测微仪在±１０μｍ的量程内非线性误差最大不超过０．８０％，重复性精度优于０．１５％，测量精度优于０．１０μｍ，频响范围达４．２ｋＨｚ。

针对轴向柱塞泵的特殊结构,采用虚拟样机技术在计算机上建立液压系统的虚拟样机模型,对轴向柱塞泵的运动学特性、动力学特性等进行分析,得到了轴向柱塞泵的运动学和动力学特性,包括柱塞位移、速度和输出压力特性。通过分析发现本泵的压力比普通泵的压力提高了1倍,同时可以通过适当降低传动轴转速来降低柱塞泵的振动。

混合型轴向-径向磁悬浮轴承集轴向磁悬浮轴承与径向磁悬浮轴承于一体，应用于磁悬浮系统可降低系统功耗，减小体积与重量，但其结构及内部磁场分布复杂，参数设计的难度较大。该文提出一种基于磁通量计算的参数设计方法，计算出要达到设计承载力所需的偏置磁场与控制磁场的磁通量，建立起软磁材料内部磁场磁通密度与软磁材料结构参数之间的函数关系，从而计算出软磁材料的结构参数值，使其内部磁场磁通密度不超过其磁化曲线线性区间。利用有限元仿真验证了该设计方法的合理性与正确性。给出了转速为20000r／min时转轴的轴向与径向位移及磁悬浮轴承控制电流的波形。实验结果表明，基于所提方法设计出的混合型轴向-径向磁悬浮轴承具有良好的悬浮特性。

介绍了一种新结构混合型轴向磁悬浮轴承（HAMB）的结构与工作原理。该结构的混合型轴向磁悬浮轴承利用永磁体来建立偏置磁场，控制磁场由电磁线圈产生，通过控制电磁线圈中电流的大小和方向，产生可控的轴向悬浮力。提出了一种基于磁通量计算的参数设计方法，首先计算出要达到额定承载力所需的磁路中的总磁通量，从而可得出各关键截面处磁场的磁通密度，各个关键截面的结构参数应使该截面处的磁通密度在磁性材料磁化曲线的线性区间内变化。利用有限元分析软件对设计结果进行了电磁场仿真，仿真结果验证了参数设计方法的合理性与正确性。