提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点，对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展，在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档，以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法，并进行了详细充分的实验验证。

提出了一种高分辨率，高频响的光栅纳米测量细分方法－动态跟踪细分法。它综合了计算机正切细分法细分份数大，电阻链细分法工作速度快，频响亮的优点，电路原理清晰，结构简单，能够同时适用于动态和静态测量，较好地解决了光栅纳米测量的信号处理过程中的高速度与高分辨率，高准确度的矛盾。实验表明，动态跟踪细分法能够在400细分时实现100kHz以上的频率响应速度，配合信号周期2μm的光栅传感器，可以得到5nm的测量分辨率，为光栅纳米测量技术应用于实时测量和实时控制打下了良好的基础，是一种非常有发展前途的新的莫尔条纹细分方法。

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法.实验表明,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平,以实现光栅纳米测量.