基于状态反馈的玉米脱粒机液压传动速度控制方法
针对当前玉米脱粒机液压传动速度控制过程中忽视其实时状态反馈,导致玉米脱粒机在外界干扰情况下存在传动加速控制能力下降的问题,提出一种基于状态反馈的玉米脱粒机液压传动速度控制方法。首先,构建玉米脱粒机液压传动模型,对脱粒机的液压传动速度进行测算;然后,设计模糊PID控制器,根据状态反馈增量信息输出控制值调整液压传动速度;最后,构建脱粒机运行观测器,设计脱粒机液压传动状态反馈模块,实现玉米脱粒机液压传动速度控制。实验结果表明:此方法可有效提升玉米脱粒机液压传动速度控制过程的抗干扰能力,提高玉米脱粒机传动加速控制能力。
缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法
针对现有微机械(Micromechanical,也称MEMS)圆盘谐振器串联动态电阻过大的问题,该文提出了电极移动法,将其它MEMS器件的可调性能引入MEMS圆盘谐振器,在现有最窄缝隙工艺条件下实现了电极-圆盘缝隙的进一步缩减,降低了串联动态电阻。该文给出了悬置电极的设计方法,推导了电极移动后有效缝隙宽度的表达式,提出了可防电极接触短路的微小圆孔状凹陷设计,并给出了加入凹陷后的有效缝隙宽度表达式。通过ANSYS仿真结果可知,分别加载2.10 V和66.38 V偏置电压后,0.1μm和1μm电极-圆盘缝隙缩小为0.0016μm和0.01μm。对于0.1~1.1μm缝隙谐振器,串联动态电阻变为原来的10 8倍以下。
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