采用微机电系统（MEMS）技术制作了悬臂梁式压电微拾振器，该技术主要包括：sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为：长2000μm，宽600μm，硅膜厚度12μm，PZT压电膜厚1．5μm，Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz，适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下，电压输出达562mV。

采用微机电系统（MEMS）技术制作了悬臂梁式压电微拾振器，该技术主要包括：sol-gel法制备PZT压电膜、干法刻蚀、湿法化学刻蚀、UV-LIGA等工艺。研制的拾振器悬臂梁结构尺寸为：长2000μm，宽600μm，硅膜厚度12μm，PZT压电膜厚1．5μm，Ni质量块长600μm、高500μm。测试表明其固有频率为610Hz，适合低频振动源环境的应用。在1gn加速度谐振激励下，电压输出达562mV。

采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构.基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础.

介绍了一种新型的微机械硅弹簧的设计和制作,运用能量方法推导出了弹性常数的计算公式,并用有限元模拟分析方法求出了其固有频率.有限元模拟工具AN-SYS模拟的结果验证了弹性常数的计算公式,理论分析和实际加工表明设计方案是可行的.

设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器。该驱动器具有较大的驱动力和行程，适用于垂直方向上需求较大偏转的微机电系统中。研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力，并用有限元模拟软件ANSYS，对该作用力进行了模拟分析。

介绍了一种基于硅体加工技术以及阳极键合技术的微热管阵列.通过两种传热模型对微热管的性能进行了分析.利用传统热管理论及经典传热理论对传热性能进行定量计算,将传热过程逐步分解并建立传热模型,对热管热阻进行估算.这种较简易的分析模型可为热管设计提供初步的参考结果.再利用有限元法以同样的参数来模拟热管传热过程以得到更加精确的热阻及热场分布结果,采用Ansys软件来进行有限元的分析.