本文阐述了双频激光干涉仪的结构和原理，并介绍用新型大规模逻辑器件ＣＰＬＤ完成双频激光干涉仪比较器单元电路的设计、仿真调试和制作。

采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构.基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础.

随着科学技术的不断发展与进步,工业迅速发展。现阶段,我国的工业发展越来越偏向智能化自动化控制设备。PLC技术是按照工业环境而设计的数字化运算操作系统,不仅可以简单进行数据编程和模拟,还可以更新传统的模式,克服传统模式的不足,降低生产成本,提升公司生产效率,从而推动生产企业的可持续性发展。文章基于PLC控制,设计了一款气动搬运机械手,有一定的实用价值。