介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个“三明治”结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路，使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器，检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试，测试结果表明：该矢量水听器的接收灵敏度在1000Hz时达到一180dB（0dBre1V／μPa），动态范围大于120dB。

提出一种小型化新型压阻式矢量水听器的设计、制作工艺方法。详细分析通过混合集成工艺技术制作的压阻式矢量水听器的性能指标：灵敏度、频率响应。实际设计、制作混合集成型压阻式矢量水听器并进行测试。得出采用本工艺制作出外形尺寸只有φ22mm×40mm的三维矢量水听器具有良好的三轴正交性，每轴向具有良好的“8”字型指向性，且具有良好的低频特性，声压灵敏度可达到-190dB。

介绍一种抗高过载加速度计的结构,对其惯性结构、过载保护结构及气体阻尼结构进行了详细分析,其中惯性结构采用有较好过振保护的双端固支梁,其截面设计成一种具有应力集中特点的凹形截面。用有限元分析对微结构进行模拟计算,并通过试验验证。验证结果表明,该加速度计在经过20000gn冲击后,在±50gn的量程内非线性达到1%,灵敏度达到1mV/g。

从声学的角度对压阻式加速度计的阻尼给予理论上的分析，从辐射阻及声吸收两个方面阐述了阻尼的物理过程、从而确定影响阻尼的物理因素，为加速度计的阻尼调整提供理论依据。