在国产ＢＳＭ－２５型扫描电子显微镜上，通过使用ＺｒＯＷ高亮度阴极、抑制高压纹波、减小聚光镜球差等措施后，使其图像分辨率从１５ｎｍ提高到５ｎｍ．同时，焦深和信噪比亦较好．该实验结果对国产电镜性能的改善具有重要意义

利用扫描电镜中物镜电流与焦距的关系，通过实验和计算得出了物镜电流调节旋钮刻度值与样品微区高低位置的对应关系。利用该关系得到了一种确定接收角的方法。该法易于应用且适于一些特殊样品接收角的确定。

扫描电子显微镜所成的像是由分解为近百万个的像元逐点依次记录而成的,因而使它在观察表面形貌的同时可进行成分和元素的分析。对于三透镜式扫描电子显微镜,还可以通过电子通道花样进行结晶学研究[1]。近几年,对一台八十年代初国产的BSM-25型扫描电子显微镜作了几方面的改进工作,其中包括高压纹波的减小、高亮度阴极的使用等措施[2,3],使原来15nm的极限分辨率提高到6nm左右;另外在自行研制的YWD-1A型扫描电镜上又进行了低真空条件下的高能电子反射衍射仪研究实验,成功地对一些材料的表面结构进行了分析确定[4]。近来,经过设计,在BSM-25型扫描电镜上安装并调试成功了美国TRACOR NORTHERN公司生产的X线能谱仪。由于安装位置的限制,能谱仪只能在样品处于低位时应用,为此对能谱仪的测量准确性进行了验证。

扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）是一种新型超高分辨率光学显微镜。它既具有光学显微镜可在自然状态下观察样品，获得物体的光学信息，且对样品无任何损伤的优点，又由于采用了近场光学探测原理及技术，使得分辨率不受衍射极限的限制，从而实现光学显微镜的超高分辨率。目...