1引言 经过近10年的发展,MEMS(微电机械系统)已从最初的实验探索阶段发展到具有广泛应用的可行技术.在商品消费市场上,MEMS封装和MEMS器件制造业已取得了重大的发展.

介绍了RV减速器的主要性能指标,详细介绍了RV减速器启动力矩、传动精度检测原理与装置,通过对比试验的方法研究了单位自主研制的RV减速器的性能,对测试数据进行了分析,在此基础上探讨了提高RV减速器性能的方法。

针对航空兵部队飞行场站制氮装置制氮慢,氮气纯度低等问题,利用PSA制氮原理,设计一种航空氮气增压提纯装置。该装置由减压阀、PSA制氮单元、调压阀,安全阀等部分组成。该装置可以为多种军用飞机提供氮气,纯度符合要求,产气快,移动轻便,满足航空兵部队对制氮装置的需求,在应用中取得良好效果。